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对于上海铌酸锂晶体的清洁,可以采用以下步骤:
准备实验仪器及清洗剂,如两个清洗干净的烧杯、四氟样品架、浓硫酸$(H_{2}SO_{4},98%)、双氧水、双氧水(H_{2}O_{2},30%)$、工业用肥皂水、去离子水、氨水(NH4OH,25%)等。
将样品放入样品架上,利用烧杯1,丙酮超声5分钟,去离子水冲干净,氮气吹干,此步骤重复两次。
换用烧杯2,H_{2}SO_{4}(98\%):H_{2}O_{2}(30\%)=9:1H2?SO4?(98%):H2?O2?(30%)=9:1超声20分钟(这期间用去离子水清洗烧杯1),去离子水冲干净,此时应观察到衬底表面均匀覆盖水膜,氮气吹干。
换用烧杯1,工业用肥皂水(50-60度),超声10分钟,去离子水冲干净。
根据实际情况可选用酒精进行清洗。
在清洁过程中应注意安全,穿戴实验服和护目镜。同时,应遵循先净后浓的原则,先用去离子水冲掉前一步的酸或碱,再用酸或碱浸泡晶体。此外,还应注意清洁剂的浓度和清洁时间。
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